污染物的来源

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Sources of contamination
污染物的来源
Personal—Skin, Hair, human oils, skin flakes, bacteria, fibers from clothing.
人员－皮肤、毛发、油脂、衣物纤维、代谢产物
Processes--Ionic contaminants from acids, bases, plating processes. Organic
contaminants from photoresist residues, process chambers residues, greases. Spores,
viruses. SiO2 from silicon films.
工艺流程－酸、碱、电镀工艺带来的离子污染物，光刻材料污染物、油脂带来的
有机污染物，孢子菌、病毒。
Tools and Materials—Powders and liquids in pharmaceutical environments. Residues in
vacuum chambers. Residual contaminants from plating process and equipment.
Inorganic contaminants from silicone dust, silicone carbine and nitride.
工具和材料－药物环境下的粉末与液体，真空室内的残留物，电镀工艺和设备的
残留污染物，硅尘、碳化硅和氧化硅带来的无机污染物。

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