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我们的晶圆测温系统专为半导体制造厂Fab、PVD/CVD部门以及RTP部门等行业设计,可以在高低温晶圆探针台上实现高精度的温度测量,达到mk级别的测量精度。无论是测量晶圆特定区域的温度真实值,还是精准描绘整个晶圆的温度分布情况,我们的系统都能应对得体,并且能够监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化。 1. 高精度测量:采用先进的测温技术,可以实现mk级别的测量精度,确保测量结果的准确性。 2. 多区测量:能够测量晶圆特定区域的温度真实值,满足不同区域温度控制的需求。 3. 温度分布描绘:能够精准描绘整个晶圆的温度分布情况,有助于优化工艺流程,提升生产效率。 4. 实时监控:在半导体设备控温过程中,可以实时监控晶圆的温度变化,及时发现异常情况并进行处理。 我们的晶圆测温系统不仅适用于半导体制造厂Fab、PVD/CVD部门以及RTP部门等行业,也适用于其他需要高精度温度测量的领域。无论您是追求工艺流程的优化,还是在产品研发和制造过程中需要准确的温度控制,我们都能为您提供完美的解决方案。 选择智测电子TC-WAFER晶圆测温系统,让您的工艺开发更精确,生产更高效!让我们携手共创取得更大的成功!
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